TC WAFER是使用特殊加工工藝將耐高溫傳感器（即TC）鑲嵌于晶圓表面特定位置，從而可實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度實(shí)時(shí)測量的溫度傳感器。

TC（ThermoCouple）為熱電偶的簡稱，Wafer即晶圓。通過TCWafer可獲得晶圓特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整體晶圓的溫度分布情況；也可用于持續(xù)監(jiān)控在熱處理制程中晶圓瞬態(tài)溫度變化，比如：升溫，降溫，恒溫過程及延遲時(shí)間等?。ǐ@得爐溫溫度的均勻性數(shù)據(jù)，從而控制良率等）。

瑞樂是專業(yè)的 TC wafer 制造商。在半導(dǎo)體廠的生產(chǎn)工藝中。 有許多高溫的工藝需要精準(zhǔn)的溫度控制，來達(dá)到晶圓薄膜厚度，應(yīng)力等參數(shù)的要求，所以一個(gè)測量精度高、穩(wěn)定性好的TC Wafer 是非常重要的。

圖1? TC Wafer工程示意圖

·基本參數(shù)

1. 晶圓尺寸：可提供2” 4”6”8”12”不同尺寸不同材質(zhì)晶圓片；

2. 可按不同測溫點(diǎn)要求定制各線段材質(zhì)及長度，以及接頭型式；

3. 測溫范圍：可根據(jù)要求設(shè)計(jì)RT~1200℃；

4. 最大測溫點(diǎn)：可根據(jù)客戶要求定制

5. 測量精度：±1.1℃/±0.4%（Type K ）；

6. 使用環(huán)境：普通狀態(tài)/真空環(huán)境；

7. 具有優(yōu)秀的軟件功能，可實(shí)時(shí)顯示溫度場剖面圖及實(shí)時(shí)升溫曲線圖；

8. 測量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存。

?

·應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造廠 Fab，硅片廠，晶圓制造廠

2. 封裝測試廠

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半導(dǎo)體設(shè)備制造商

5. 高溫工藝設(shè)備腔體溫度的監(jiān)控

?

·我們的優(yōu)勢(shì)

精度高、交期短、服務(wù)響應(yīng)快。

·服務(wù)內(nèi)容

1.產(chǎn)品定制；

2.TC wafer 維修，包括測溫點(diǎn)脫膠、熱電偶更換等。

?