天車/晶圓傳輸檢測
天車傳輸全稱“空中懸掛式無人搬送車”，用來把半導(dǎo)體晶圓載具從生產(chǎn)機(jī)臺吊上、降下并傳送，實(shí)現(xiàn)晶圓在生產(chǎn)工序間精準(zhǔn)高效流轉(zhuǎn)。天車是自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）的核心搬運(yùn)設(shè)備之一。
晶圓傳輸設(shè)備的核心部件主要包括晶圓裝載裝置、晶圓運(yùn)輸機(jī)械手（Robot）、晶圓預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)（Pre-Aligner）和空氣過濾器（FFU）。在整個(gè)生產(chǎn)線上完成晶圓的分類、預(yù)對準(zhǔn)和傳輸?shù)裙δ埽沁B接物料搬運(yùn)系統(tǒng)與晶圓處理系統(tǒng)的橋梁，是晶圓生產(chǎn)線不可或缺的重要組成部分。
適用產(chǎn)品：AMS 晶圓型多功能測試片、AVLS 晶圓型振動(dòng)水平測量校準(zhǔn)片
