FULLY AUTOMATIC DOUBLE CHAMBER?RAPID ANNEALING FURNACE

全自動雙腔快速退火爐

RTP-DTS-64【RTP快速退火爐】

RTP-ATS-64 是在保護氣氛下的全自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片?Wafer 或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用 4 寸 4 片（可兼容 4 寸 9 片）或 6 寸4 片快速熱退火制程。相對于傳統(tǒng)擴散爐退火系統(tǒng)和其他 RTP 系統(tǒng)，其獨特的腔體設計、先進的溫度控制技術和獨有的 RL900軟件控制系統(tǒng)，確保了極好的熱均勻性。

產品特點 PRODUCT FEATURES

紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；燈管功率 PID 控溫，可精準控制溫度升溫，保證良好的重現性與

溫度均勻性；

采用平行氣路進氣方式，氣體的進入口設置在 Wafer 表面，避免退火過程中冷點產生，保證產品良好的溫度均勻性；

大氣與真空處理方式均可選擇，進氣前氣體凈化處理；

標配兩組工藝氣體，最多可擴展至 6 組工藝氣體；

可處理單晶片樣品的最大尺寸為 12 英寸（300×300mm），兼容 4 寸 4 片（可兼容 4 寸 9 片）或 6 寸 4 片；

采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施，全方位保障儀器使用安全。【RTP快速退火爐】

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【RTP快速退火爐】行業(yè)應用

INDUSTRY?APPLICATIONS

1.氧化物、氮化物生長

2.硅化物合金退火

3.砷化鎵工藝

4.歐姆接觸快速合金

5.氧化回流

6.其他快速熱處理工藝

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廣東瑞樂科技專注于高精度溫測、溫控設備的生產和研發(fā)定做，為半導體行業(yè)提供科學的國產解決方法，更多有關快速退火爐 ?TC Wafer??晶圓測溫系統(tǒng)資訊請關注瑞樂官網。

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廣東瑞樂科技專注于高精度溫測、溫控設備的生產和研發(fā)定做，為半導體行業(yè)提供科學的國產解決方法，更多有關快速退火爐 ?TC Wafer??晶圓測溫系統(tǒng)資訊請關注瑞樂官網。