【rtp快速退火爐】是一種簡易相對(duì)穩(wěn)定的熱處理系統(tǒng)，采用先進(jìn)的紅外線加熱管進(jìn)行加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以隨意滑動(dòng)，可快速完成升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，就可以直接放下5英寸的材質(zhì)。試樣反應(yīng)區(qū)處于一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)工藝流程工作的同時(shí)，也大大降低間接污染試樣的概率。

【rtp快速退火爐】基本功能和優(yōu)勢：

1、可視化效果7寸觸摸顯示屏，設(shè)置數(shù)據(jù)和實(shí)際操作都是圖文界面，操作簡便；

2、爐體配備高精度工作平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng)；

3、爐管可以自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，防止了螺栓密封人為實(shí)際操作導(dǎo)致漏氣的可能性；降低了因組裝法蘭而導(dǎo)致加熱管受損的可能性；當(dāng)爐管退出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇運(yùn)行，可以實(shí)現(xiàn)試樣的快速減溫，滿足材質(zhì)驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)規(guī)定；

4、爐膛采用先進(jìn)的多晶纖維真空吸附制成，采用先進(jìn)的紅外線加熱管進(jìn)行加熱，使用期限可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，溫度可達(dá)1050℃。

5、預(yù)留出真空、氣路快速端口，可搭配我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；

6、預(yù)留出485轉(zhuǎn)換接口，可以通過我司專用程序，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可以實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、動(dòng)態(tài)追蹤、瀏覽記錄、輸出報(bào)表等多種功能；

7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，實(shí)際操作安全穩(wěn)定。

【rtp快速退火爐】主要用途：

1、離子注入/接觸退火；

2、快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；

3、可以在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；

4、SiAu,SiAl,SiMo合金化；

5、低介電材料；

6、晶體化，致密化；

7、太陽能電池片鍵合。