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【RTP快速退火爐】維修快速退火爐的注意事項(xiàng)如下

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1.在首次使用或長(zhǎng)時(shí)間不使用爐子后,需要將其在大約120℃的溫度下烘烤1小時(shí),然后在大約300℃的溫度下烘烤2小時(shí)才能開始使用,避免爐膛破裂的情況發(fā)生。為了保護(hù)加熱元件及爐襯的完好,應(yīng)盡量避免超過額定溫度的爐溫。同時(shí),嚴(yán)禁將各種液體或溶解金屬直接倒入爐膛內(nèi),保持爐內(nèi)的清潔。

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2.如果爐膛使用石英管,當(dāng)溫度超過1000℃時(shí),石英管的高溫區(qū)域會(huì)出現(xiàn)失去透明度的問題,這被稱為失透(也叫析晶性),它是石英管固有的缺陷之一,屬于正?,F(xiàn)象。

3.溫速率應(yīng)逐漸增加。此外,冷爐在使用時(shí)應(yīng)注意保持適當(dāng)?shù)耐L(fēng),避免爐內(nèi)的熱量聚集過多。同時(shí),對(duì)于冷爐的操作者來說,要注意正確操作,遵守相關(guān)安全規(guī)定,確保爐子的正常運(yùn)行。

升溫速率的差異不宜過大,設(shè)定升溫速率時(shí)需要充分考慮燒結(jié)材料的物理化學(xué)特性,以避免發(fā)生噴料現(xiàn)象,污染爐管。

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4.應(yīng)定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分,確保連接良好。需要特別關(guān)注加熱元件的各連接點(diǎn)是否緊固。RTP快速退火爐

5.使用爐子一段時(shí)間后,如果真空度下降,可以采取以下措施來提高系統(tǒng)的整體真空度:更換耐溫硅膠圈,這些圈位于不銹鋼法蘭盤之間,或重新安裝不銹鋼法蘭盤,或更換或修理真空系統(tǒng)。

6.當(dāng)爐子在工作過程中出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過大時(shí),通常會(huì)在約300℃左右。如果控制偏差仍然存在,我們需要檢查參數(shù)"M5、P、t"的設(shè)置是否準(zhǔn)確。

7.這個(gè)爐子適合以下工作環(huán)境:

(1)

環(huán)境溫度范圍為-10℃至75℃。

(2)

周圍環(huán)境的濕度不能超過85%。

(3)RTP快速退火爐

爐子周圍沒有可導(dǎo)電的灰塵,也沒有可能引發(fā)爆炸的氣體,也沒有會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞金屬或絕緣材料的腐蝕性氣體。

(4)

沒有明顯的傾斜、晃動(dòng)和顛簸。

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