【快速退火爐】采用先進(jìn)微電腦控制技術(shù)和PID閉環(huán)控溫，可以達(dá)到比較高的控溫精確度溫度均勻性，還可根據(jù)客戶工藝標(biāo)準(zhǔn)配置真空室或多路氣體。

快速退火爐使用鹵素紅外線燈作為熱源，利用較快的升溫速度將晶圓或材料迅速加熱至300°C-1200°C，進(jìn)而解決晶圓或材料的一部分缺陷，提高了產(chǎn)品特性。

快速退火爐（芯片熱處理設(shè)備）廣泛應(yīng)用于IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體、功率器件等各種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，以及歐姆接觸的快速合金化、離子注入退火、氧化物生長、應(yīng)力浮雕在致密化、致密化等工藝中，使用快速熱處理來改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，主要技術(shù)指標(biāo)高，工藝復(fù)雜，特異性強(qiáng)。

【快速退火爐】硬件進(jìn)行更換

1、加熱燈進(jìn)行更換：加熱燈超出使用期限或不亮要更換新的。加熱燈使用期限為3000h，高溫環(huán)境它的使用壽命也會降低。

2、真空泵油進(jìn)行更換：使用過程中，請每季度觀察一次真空油表。當(dāng)油量表顯示油量小于1/3時(shí)，請將真空泵潤滑油加到油量表的一半以上。

3、熱電偶進(jìn)行更換：測溫異?；驌p壞時(shí)就需要換熱電偶。熱電偶正常使用壽命為3個(gè)月，它的使用壽命因外部環(huán)境因素而縮減。

4、進(jìn)行更換O型圈：O型圈表面是明顯嚴(yán)重?fù)p壞不能密封時(shí)，就需要換O型圈。它的使用壽命受外力和溫度條件的限制。