瑞樂半導(dǎo)體

AVLS 晶圓型振動水平測量校準(zhǔn)片

AVLS晶圓型振動水平測量校準(zhǔn)片通過專業(yè)技術(shù)將多個傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測量加速度、振動、水平、調(diào)平角度等參數(shù)，實時水平檢測系統(tǒng)能夠快速測量晶圓載盒、FOUP、晶圓自動化搬運機(jī)械手、晶圓校準(zhǔn)設(shè)備、裝載鎖、晶圓頂針和工藝腔底座的傾斜度參數(shù)；實時震動檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)在不中斷機(jī)臺操作狀態(tài)下監(jiān)測晶圓的滑動、滑移、碰撞、刮傷和粗暴搬運情況，AVLS在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用有助于提升設(shè)備的調(diào)試效率和生產(chǎn)過程的控制精度。

一、產(chǎn)品應(yīng)用范圍

晶圓載盒、FOUP、晶圓自動化搬運機(jī)械手、晶圓校準(zhǔn)設(shè)備、裝載鎖、晶圓頂針、工藝腔底座、天車搬運系統(tǒng)、 晶圓裝載與檢測集成裝置 SMIF

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

01.無線測溫采集

傳感器無需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù)，滿足晶圓在復(fù)雜性狀況下通過無線通信方式進(jìn)行參數(shù)測量。

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02.多參數(shù)實時數(shù)據(jù)監(jiān)控

AVLS可專業(yè)測量晶圓在制程中的加速度、振動、水平、調(diào)平角度等關(guān)鍵參數(shù)。

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03.高精度與靈敏度

傳感器具有高精度和靈敏度，能夠滿足嚴(yán)格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。

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04.支持過程調(diào)整與驗證

通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

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05.輕巧的設(shè)計

AVLS系統(tǒng)的輕巧設(shè)計使其能夠適應(yīng)更多的設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境，尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。

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06.低功耗性能

低功耗的特性實現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時間運行。

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三、產(chǎn)品參數(shù)配置

四、關(guān)于瑞樂半導(dǎo)體

廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司（Guangdong Ruile Semi-Tech CO., Ltd.）成立于2016年，是一家專精于半導(dǎo)體溫度測量和功能測量產(chǎn)品，集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的高科技公司，同時是具備優(yōu)秀的自主創(chuàng)新能力的高價值公司。公司積累了半導(dǎo)體行業(yè)溫度測量領(lǐng)域多年經(jīng)驗，融入當(dāng)今先進(jìn)的工業(yè)計算機(jī)技術(shù)，在專業(yè)技術(shù)上不斷迭代創(chuàng)新，短短幾年內(nèi)，垂直發(fā)展成為半導(dǎo)體行業(yè)測溫設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商，成為在該領(lǐng)域具有較強(qiáng)影響力的公司。

公司主要產(chǎn)品有TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)（有線/無線）、On Wafer無線晶圓測溫系統(tǒng)、定制型 Wafer晶圓測溫系統(tǒng)，承壓測溫 Bonding TC Wafer、AMS 晶圓型多功能測試片、ATS晶圓型中心校準(zhǔn)片、AGS晶圓型間隙量測片、VMS晶圓型厚度量測片、ALS 晶圓型水平校準(zhǔn)片、AVS 晶圓型振動量測片、AVLS 晶圓型振動水平測量校準(zhǔn)片、有線/無線真空壓力測量片AVPS、無線測溫晶圓存儲充電數(shù)據(jù)傳輸FOUP等，為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度的晶圓測溫解決方案和晶圓校準(zhǔn)測量解決方案。