闡述了半導(dǎo)體材料的電阻率隨溫度動(dòng)態(tài)變化及檢測(cè)方法。【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

1.半導(dǎo)體電阻率隨溫度波動(dòng)什么樣的

常溫下，半導(dǎo)體的電阻率一般比金屬和導(dǎo)體大得多。和金屬不一樣的是，半導(dǎo)體電阻率一般會(huì)隨著溫度上升而降低，這被稱作反常電阻率效應(yīng)。

半導(dǎo)體電阻率隨溫度波動(dòng)的具體規(guī)律性在于半導(dǎo)體自身的特點(diǎn)，常見的就是：【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

金屬試品：電阻率隨溫度線性加強(qiáng)

硅：電阻率隨溫度呈現(xiàn)負(fù)溫度系數(shù)，即隨溫度上升而減少

鍺：電阻率也呈現(xiàn)出負(fù)溫度系數(shù)

2.半導(dǎo)體的電阻率怎么測(cè)量

半導(dǎo)體的電阻率測(cè)量通常使用四探針法。四探針法是一種精準(zhǔn)測(cè)量材質(zhì)電阻率的辦法，它能消除接觸電阻和引線電阻的影響，特別適合半導(dǎo)體這種高阻材質(zhì)。

其基本概念要在待測(cè)試品上施加一個(gè)小電流，根據(jù)四根探針測(cè)量試品表層的電勢(shì)差來計(jì)算出電阻率。為了保證測(cè)量精度，必須通過空氣大氣壓力、溫度等因素的校正來減少誤差。【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

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