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【TC Wafer】晶圓的測試方法

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在半導(dǎo)體器件制造工藝中,測試是保證器件出廠品質(zhì)的重要環(huán)節(jié),通過檢測,能把生產(chǎn)制造中產(chǎn)生的一部分瑕疵品,依然性能不合格產(chǎn)品篩選出,或者通過檢測,獲知器件的性能參數(shù),能進(jìn)行產(chǎn)品檔次的區(qū)別?!?/span>TC Wafer

探針測試(cp)是硅片檢測中一個(gè)很重要的測試項(xiàng)目,探針測試應(yīng)用探針卡與晶圓里的壓焊點(diǎn)(pad)接觸以傳輸電信號。探針卡是測試儀器與待測器件(dut)間的接口,典型的探針卡是一類帶有很多細(xì)針的的印刷電路板,這種細(xì)針和待測器件之間物理和電學(xué)接觸,探針傳遞出入晶圓測試結(jié)構(gòu)壓焊點(diǎn)電壓電流。即探針測試機(jī)臺是由探針卡上探針與晶圓里的測試接觸壓焊點(diǎn)接觸,測試機(jī)臺發(fā)送測試電信號通過探針及與探針接觸的壓焊點(diǎn)輸入到晶圓里的晶粒并獲得測試數(shù)據(jù)。

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測試就是為了以下幾個(gè)目標(biāo)。第一,在晶圓送至封裝工廠以前,鑒別出合格的芯片。其次,器件/電路的電性參數(shù)開展特性評估。工程師們須要監(jiān)測參數(shù)的分布狀態(tài)來維持工藝的質(zhì)量水平。第三,芯片的合格品與不良品的核算會給晶圓生產(chǎn)人員提供全面業(yè)績的反饋。合格芯片與不良品在晶圓里的位置在計(jì)算機(jī)上以晶圓圖的形式記錄下來。從前的舊式技術(shù)在不良品芯片上涂下一墨點(diǎn)。TC Wafer

晶圓測試是最主要的芯片良品率統(tǒng)計(jì)方法之一。隨著芯片的面積增大和密度提升使得晶圓測試的費(fèi)用越來越大。這樣一來,芯片須要更長的測試時(shí)間以及更加精密復(fù)雜的電源、機(jī)械裝置和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來執(zhí)行測試工作和監(jiān)控測試結(jié)果。視覺檢查系統(tǒng)也是隨著芯片尺寸擴(kuò)大而更加精密和昂貴。芯片的技術(shù)人員被要求對測試模式引入存儲陣列。測試的技術(shù)人員在探索如何將測試流程更加簡化而有效,例如在芯片參數(shù)評估合格后應(yīng)用簡化的測試程序,另外也可以隔行測試晶圓里的芯片,依然同時(shí)進(jìn)行多個(gè)芯片的測試。

現(xiàn)在的晶圓也開始在各大行業(yè)中得到應(yīng)用,另外廠家也必須做好晶圓測試,這樣才可以了解晶圓能否做到對應(yīng)的使用需求,所以在進(jìn)行測試時(shí),依然要了解一部分實(shí)際的操作流程,這樣才可以按照合理的操作流程完成對晶圓里的測試。

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1、加強(qiáng)測試前的檢測TC Wafer

通常情況下,在開展封裝以前,產(chǎn)品一定要是合格的產(chǎn)品,而且這樣就必須做好檢測,保證了新產(chǎn)品的出場質(zhì)量。所以在開展晶圓測試以前,還一定要先對其中的設(shè)備完成檢測,要將晶圓能直接固定在卡盤上,之后加強(qiáng)電源方面的檢測,那樣才能做到測試準(zhǔn)備。

2、加強(qiáng)參數(shù)的檢測

無論是檢測其中的種類,依然檢測這其中的次序,也是通過電子系統(tǒng)來控制的,所以需要通過自動(dòng)化技術(shù)來完成檢測,在現(xiàn)在的晶圓測試中,依然需要先檢測一下其中的參數(shù),判斷一下這其中的分布情況,那樣才能做好測試方面的調(diào)整,假如說在經(jīng)過測試后,產(chǎn)品不合格的話需要重新進(jìn)行調(diào)整,或者是直接淘汰,才能避免一些品質(zhì)不好的產(chǎn)品出廠。

其實(shí)晶圓測試TC Wafer很重要,不單單是應(yīng)該去做好準(zhǔn)備,而且還需要注意這其中的檢測標(biāo)準(zhǔn),這個(gè)很重要,只有按照相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)來完成測試后,才能確定產(chǎn)品是否合格,是否可以繼續(xù)使用,因此企業(yè)在進(jìn)行測試時(shí),還需要注意選擇專業(yè)的人員來完成,才會得到精準(zhǔn)的測試結(jié)果,從中出廠合格品質(zhì)好的晶圓產(chǎn)品。

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